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CVD气相沉积炉

文章来源:未知时间:2018-05-18 点击:
CVD气相沉积炉
化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等CVD、CVI处理。
化学气相沉积炉产品规格:
产品型号/规格W×H×L(mm)
600*600*1000
800*800*1200
1000*1000*1500
1200*1200*2500
1500*1500*3000
2500*2000*3600
装载重量(KG)
350
800
1500
2500
5000
10000
最高温度(℃)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
温度均匀性(℃)
±7.5
±7.5
±7.5
±10
±10
±15
加热功率(kw)
250
360
480
600
900
1200
极限真空度(Pa)
20
20
20
20
20
20
压升率(Pa/h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
 
化学气相沉积炉主要配置:
炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产PLC:欧姆龙/西门子
控温仪表:日本岛电/英国欧陆
热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件:正泰/施耐德/西门子
料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
 
化学气相沉积炉技术特征:
本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;
本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
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